韩媒《The Elec》报道,三星计划将用于内存芯片制造的光罩(photomask)生产外包。此前,为了防止技术外流,三星一直自行生产所需的全部光罩,但该公司好评估制造低端光罩(i-line与KrF)的潜在供应商。

这些供应商包括Tekscend Photomask和PKL,前者是日本Toppan Holdings子公司,后者为美国光罩公司Photronics所拥有。报道称,评估作业正在进行中,预计第三季完成。

三星决定外包这款光罩有许多原因,其一是现有的i-line与KrF设备已经老旧、设备甚至已停止生产,因此难以取得。再来,虽担心技术泄露,但三星在技术上已不再像以前一样有明显优势,因此降低端光罩外包并不会带来太大的技术风险。不过,消息人士指出,从成本角度来看,三星自行生产这些光罩仍更具成本效益。

根据波长进行分类,i-line使用365纳米(nm)波长,适合搭建较简单的电路图样;KrF使用248nm,适用于中端分辨率;ArF则使用193nm,可应用于比KrF更高端的图样;而EUV(极紫外光)使用13.5nm,是目前最先进的技术,能搭建最微小的图样。

消息人士指出,三星通过外包,计划将原本用于i-line与KrF的资源转向投入ArF与EUV。由于ArF与EUV光罩将决定三星的技术竞争力,自然希望聚焦在更先进的技术领域。

随着芯片日益进化,电路图样越来越微小,所需的光罩数量也越来越多。以逻辑芯片为例,从10nm制程进展到1.75nm,所需的光罩数量预期会从67张增加到78张;过去DRAM所需的光罩约为30到40张,如今则超过60张。多重曝光(multi-patterning)技术也增加光罩使用量。

韩国的光罩市场规模约7,000亿韩元,国内厂商整体产能稼功率超过90%。来自中国无厂半导体(fabless)公司的需求推动这一增长。若三星也开始外包光罩制造,其他芯片代工厂如DB Hitek可能会面临光罩供应压力。

(首图来源:shutterstock)