佳能(Canon)位于日本宇都宫市的新光罩机设备工厂,将于9月正式投入量产,主攻成熟制程及后段封装应用设备,为全球芯片封装与成熟制程市场提供更多产能支持。
这座新厂是佳能在2023年开始动工,并可能使用自家开发的Nanoimprint技术,总投资额超过500亿日元,涵盖厂房与先进制造设备。新厂面积达6.75万平方米,投产后将使光罩设备总产能提升50%。
目前全球光罩市场中,ASML于尖端前段制程领域几乎垄断,大约为全球的九成,如企业使用的极紫外光(EUV)和深紫外光(DUV)大部分为ASML生产 。佳能虽未涉足EUV,但在成熟制程(I-line和KrF)及先进封装光罩领域具备优势。后段制程设备约占其总销售三成,主要供应台积电等封装客户,用于中介层与多芯片模块制作,与ASML在市场定位上并不直接竞争,而是专攻ASML不重视的市场。
随着AI芯片推动CoWoS与多芯片封装需求持续攀升,佳能在封装光罩领域的技术优势有望持续受益。新厂投产将有助于佳能在全球光罩市场中稳固既有优势,并为AI与先进封装需求提供更灵活的产能应对。
(首图来源:Pyzhou, CC BY-SA 4.0, via Wikimedia Commons)