IBM和日本创业公司芯片商Rapidus于IEEE IEDM 2024国际电子组件会议,展示合作的多阈值电压GAA晶体管成果,有望用于Rapidus的2纳米量产。
IBM表示,先进制程升级至2纳米节点后,晶体管结构由使用多年的FinFET鳍式场效应晶体管,转成GAAFET全环绕栅极场效应晶体管,对制程改朝换代带来新挑战。如何达多阈值电压(Multi Vt),让芯片以较低电压执行复杂计算是个挑战。
IBM强调,2纳米制程N型和P型半导体信道,距离相当狭窄,需精确曝激光雷达到多阈值电压,也不影响半导体性能。IBM携手Rapidus导入两种选择性减少层(SLR)芯片构建,成功完成目标。
IBM研究院高级技术人员Bao Ruqiang表示,与FinFET相较,Nanosheet纳米片结构非常不同,且更复杂。新技术比以前方法更简单。相信将使合作伙伴Rapidus更容易可靠量产2纳米芯片。
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