大家都知道荷兰商艾司摩尔 (ASML) 是全球先进芯片制造设备设计和供应商中无可争议的领导者,其包括台积电、英特尔、三星等产业大厂所生产的最先进半导体,都高度依赖这家成立于1984年公司的设备。而就ASML的历史来说而言,公司至今亮眼的表现一切都是要从一个漏水的棚子开始的。

根据Tom's Hardware的报道,当今曝光机领域的王者ASML,最初是由电子界家喻户晓的飞利浦公司与先进半导体材料国际公司 (ASMI) 所合作创立的。当时,两家公司的愿景是创建一家专注于曝光设备的新公司,因为他们认为这是一个不断增长的市场。

然而,ASML的第一个基地就是前面提到的漏水棚子。漏水棚子并不是一个幽默的名字,而是真的会漏水的棚子。该建筑位于恩荷芬 ( Eindhoven) 的Strijp-T的原飞利浦园区,一张旧照片就显示,当时这个漏水棚子真的是一个摇摇欲坠的单层预制建筑,它与飞利浦TQ大楼的一楼相连,而飞利浦TQ大楼是该公司工业电子部门的所在地。

报道表示,在1970年代初开始的研发基础上,ASML团队很快就实现了其首个系统,即PAS 2000 stepper曝光机。另外,幸运的是,对于ASML和所有来自漏水棚子的员工来说,不久之后,公司的业务就蓬勃发展,并于1985年迁至专门建造的办公室和工厂。巧合的是,ASML与镜头制造商卡尔蔡司的合作关系也在此时签署,并持续至今。

1990年代,ASML宣布推出其突破性平台,就是PAS 5500曝光设备。凭借这一成功,ASML凭借着经典曝光设备的业界领先的生产力和分辨率,最终在荷兰和纽约证券交易所成功上市。之后,第一台采用革命性双级技术的Twinscan机器于2001年推出。如今,ASML凭借其EXE平台和High-NA技术再次突破了竞争对手无法突破的界限。

(首图来源:官网)