在美国SkyWater Technology的商业芯片厂,斯坦福大学、卡内基梅隆大学、宾夕法尼亚大学和麻省理工学院的工程师团队,成功制造出首个单片式3D集成电路,可能为未来设备带来高达1,000倍能效提升(速度与效率综合指标)。原型芯片由团队共同开发,卡内基梅隆大学助理教授Tathagata Srimani领导CNFET(纳米碳管场效晶体管)与RRAM(电阻式RAM)技术集成。

这款芯片突破传统二维布局,将内存和逻辑单元直接堆栈,形成连续制程。研究人员在同一芯片上逐层构建,使用低温制程避免损坏底层电路,实现密集垂直互联,缩短数据传输路径。

原型于SkyWater的200mm生产线制造,采用90nm至130nm制程,结合硅CMOS逻辑、RRAM层与CNFET,所有组件在415°C热预算下完成。测试显示,吞吐量比相似2D实现提升约4倍(相同延迟与占地面积)。

模拟更高堆栈设计在AI工作负载(如Meta LLaMA模型)显示12倍性能提升,未来通过垂直扩展可达100-1,000倍能效。SkyWater技术开发运营副总裁Mark Nelson表示,将尖端学术概念转化为商业芯片厂产品是一项巨大挑战,证明此架构可转移至国内制造,而非限于大学洁净室。

团队于IEEE IEDM 2025(12月6-10日)展示成果,此为商业环境下3D芯片首例。

(图片来源:宾夕法尼亚大学)