
当大家把目光都放在“芯片设备霸主”ASML身上时,很少人知道,真正能让极紫外光(EUV)曝光机运行的关键技术,并不来自ASML本身,而是一家低调的德国企业——蔡司(ZEISS)。
这家以相机镜头、光学镜片闻名的老牌公司,其实才是全球先进制程的灵魂角色。没有蔡司,ASML再强也做不出EUV曝光机!

ASML虽是目前唯一能量产EUV曝光设备的公司,但实际上,它更像是个“攒局者”,将来自全球各地的关键技术集成起来,而最无法取代的一环,就是蔡司所提供的光学系统。
EUV曝光所需的高精度反射镜与透镜,目前全世界只有蔡司能做出来,而且精密程度高到近乎疯狂:镜面必须达到原子级平整,等于把整个德国的地形误差控制在1毫米内。
许多人以为蔡司只是个相机镜头品牌,但这家拥有175年历史的光学巨头,早已是半导体设备产业链中的“隐形冠军”。它所提供的光学模块,涵盖所有DUV、EUV曝光机,甚至全球80%的芯片制造都用到了蔡司的光学组件。

为了巩固合作,ASML和蔡司甚至共同设立了一家合资的半导体光学公司,双方工程师互相驻点、协同设计,完成几乎无法复制的技术共生体系。
有分析指出,如果其他公司想自行打造这样一套供应链,至少要砸下200亿欧元、花上10年,且未必能成功。
随着制程进入3纳米以下时代,蔡司正积极研发多层反射膜、AI光学优化系统等新技术,准备挑战更严苛的物理限制。这家企业从不爱曝光,也鲜少上媒体头条,但在全球芯片产业链中,它的角色不容忽视。
当大家还在讨论ASML多厉害的时候,别忘了,它背后那颗精准到令人窒息的“眼睛”,其实是蔡司做出来的。











