进入2纳米以下埃米时代后，ASML高数值孔径极紫外光 (High-NA EUV) 曝光机就成为先进制程半导体厂的关键。英特尔4月宣布业界首套High-NA EUV组装完成后，台积电月底也会引进首套High-NA EUV，较外界猜测年底提前一季，也超车很想抢在台积电前面的三星。
台积电之前态度较保守，技术论坛欧洲场表示，不会立即购买High-NA EUV，因价格太贵，几年内都不需高端EUV。市场分析师指出，台积电采用High-NA EUV会在2030年后。
台积电董事长魏哲家不久前缺席年度技术论坛台北场，改拜访荷兰ASML总部，外界解读为台积电对High-NA EUV态度转变，对手英特尔已购买，故台积电下一步对市场优势就是关键，提早采购High-NA EUV。ASML首席财务官Roger Dassen也证实，两大客户台积电和英特尔年底都会收到High-NA EUV。
外媒报道，ASML发言人Monique Mols说，年底交货的High-NA EUV每套3.8亿美元 。最新消息指出，台积电首套High NA EUV买价远低于定价。
能让龙头ASML也给折扣的主因，外界推测还是数量。毕竟台积电A16制程已有客户下单，英特尔与三星是否能成功进入埃米制程还在未定之天，ASML当然选择服务好台积电。除了价格折扣，ASML也会全力支持技术面。而ASML不评论此消息。
(首图来源：imec)
