在近期举行的北美技术论坛(North America Technology Symposium)上,台积电(TSMC)首度公开了N2(2纳米)制程的缺陷率(D0)情况,显示N2的表现比以往7nm、5nm、3nm等历代制程更为优异。

虽然台积电并未直接公布具体数据,但从官方展示的不同制程随时间推移的缺陷率趋势图来看,N2的表现相当亮眼。

N2制程首次导入全环绕闸极晶体管(GAAFET)架构,目前距离量产大约还有两个季度,预计将于年底正式进入大规模生产。根据台积电透露,N2试产近两个月以来,缺陷率与当时的N5/N4相当,甚至稍微更低,并且明显优于N7/N6及N3/N3P制程。

从以往经验来看,在试产至量产半年内,N7/N6综合缺陷率最高;N3/N3P从量产开始就有所改善;而N5/N4则在试产初期就展现出明显低缺陷率的优势。若N2能延续N5/N4的良好趋势,其未来量产前景可期。

台积电也指出,一项新制程的缺陷率能否快速下降,除了技术本身的成熟度之外,也取决于流片(试制)数量与产能规模。流片数量越多、产能扩展越快,越能提早发现并修正潜在问题,进一步加速制程成熟。

目前,N2制程已流片的芯片数量明显高于以往同期的其他制程,这也是其能迅速改善缺陷率的关键之一。