比利时微电子研究中心（imec）已成功展示利用ASML最先进的极紫外光（EUV）微影设备，实现芯片级规模的纳米孔制作技术。ASML传播主管形容，由于纳米孔在分子传感领域展现的巨大潜力，这是ASML设备“出乎意料却非常令人惊艳的生医应用”。

纳米孔是极其微小的孔洞，直径仅有数纳米，孔洞尺寸约比人类头发细1万倍。纳米孔可用于生医传感器，关键在于分子与孔洞互动的方式，其侦测原理包括将测量流经纳米孔的离子电流；当分子通过孔洞时，会造成电流变化，进而揭示其尺寸、结构、电荷与相互作用；不同分子会呈现各自独特的电性特征，因此能以高灵敏度进行识别。

通过这种方式，由EUV制程打造的纳米孔可作为生医传感中的“分子检查点”，用来侦测并识别病毒、蛋白质、DNA等单一分子，对精准的分子鉴定与分析极具价值。此外，imec也指出，通过调整固态纳米孔的尺寸，还可应用于过滤与分子数据存储等领域。

目前的纳米孔制造方法被认为速度缓慢、仅限于实验室规模，且成本高昂。imec在论文中指出，他们已成功在整片300mm芯片上，制作出直径最小约10纳米、且高度均匀的纳米孔，这项突破可兼顾量产力、精准度与重复性，有望终结纳米孔传感器在实际应用上长期推广的瓶颈。

（首图来源：imec）